郭国娜扫描电镜的成像原理

纳瑞科技的服务将为IC芯片设计工程师、IC制造工程师缩短设计、制造时间，增加产品成品率。我们将为研究人员提供截面分析，二次电子像，以及透射电镜样品制备。我们同时还为聚焦离子束系统的应用客户提供维修、系统安装、技术升级换代、系统耗材，以及应用开发和培训。

扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种使用电子束而不是光束成像的显微镜,能够观察微小物体的结构和化学成分。它的成像原理基于电子束与样品之间的相互作用。

当电子束撞击样品时,样品会将电子束吸收并打散。这些电子束随后经过一系列的电子学器件,包括透镜、聚焦器、偏振器等,最终到达样品中的原子或分子。这些电子束与原子或分子相互作用,导致电子的吸收或散射。通过使用探测器,SEM可以检测到这些电子的吸收或散射,并将其转化为图像。

在SEM中,电子束通常被聚焦在非常小的角度范围内,这使得我们可以观察到非常微小的物体。当电子束穿过样品时,不同原子会吸收电子束,导致电子束的吸收或散射。这种吸收或散射电子的行为取决于原子的结构和电子排布。因此,通过分析SEM图像,我们可以了解样品中原子的结构和化学成分。

SEM成像的一个重要步骤是样品准备。样品通常被放置在真空环境中,并使用扫描探针将其固定在扫描电镜中。扫描探针由一个金属杆和一个球形探针组成,可以在样品表面移动以获取不同位置的电子图像。在样品准备过程中,必须非常小心,以避免样品受到污染或损坏。

SEM的成像原理基于电子束与样品之间的相互作用。通过使用SEM,我们可以观察非常微小的物体,并了解其结构和化学成分。SEM在材料科学、纳米技术、生物医学等领域得到了广泛应用,因为它可以让我们观察到样品中非常微小的结构和化学成分。